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高精度晶圓厚度標準片

半導體晶圓行業的需求量也在不斷增加。一般的晶圓片厚度有一定的規格,晶圓厚度對半導體器件的性能和質量都有著重要影響。而集成電路制造技術的不斷發展,芯片特征尺寸也逐漸減小,帶動晶圓減薄工藝的興起與發展,晶圓測厚成為了不少晶圓生產廠家的必要需求之一。高精度晶圓厚度標準片需求量激增,我公司主要銷售非接觸渦流法電阻率、方阻,厚度、TTV等

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  • 更新時間:2025-11-11
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半導體晶圓行業的需求量也在不斷增加。一般的晶圓片厚度有一定的規格,晶圓厚度對半導體器件的性能和質量都有著重要影響。而集成電路制造技術的不斷發展,芯片特征尺寸也逐漸減小,帶動晶圓減薄工藝的興起與發展,晶圓測厚成為了不少晶圓生產廠家的必要需求之一。高精晶圓厚度標準片需求量激增,我公司主要銷售非接觸渦流法電阻率、方阻,厚度、TTV等。

采用非接觸的測量方式,測量精準,可快速測試。采用白光光源,上下雙探頭設計,測試時樣片放置在上下兩個探頭的中間位置,一次測試可以快速地提供樣片厚度及幾何參數相關的所有信息:厚度,TTV,Bow,Warp,TIR,LTV等,同時該設備也可搭載紅外干涉的探頭。

標準厚度片是國家標準規定的工業量具,主要用于低壓流體輸送用鍍鋅焊接鋼管、熱軋鋼板等材料的厚度規格界定。其技術參數依據GB/T 3091-1993和GB709-88標準,涵蓋DN15-DN200鋼管的2.75-6.0mm厚度范圍,以及熱軋鋼板0.35-200mm的尺寸精度要求 [1]。該量具按軋制精度分為較高精度和普通精度,并規定外形不平度、鐮刀彎等參數指標,屈服點超過460N/mm2的板材需執行更嚴格公差 [


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